구형 반도체 장비에 대한 미국의 대중 제재가 본격 시행되기 전에 이미 네덜란드 반도체 장비 업체 ASML의 중국 수출이 취소됐다. 미국이 중국 반도체 기술 자립을 막기 위해 강도 높은 선제 조치를 취한 것으로 풀이된다.
1일(현지 시각) 블룸버그에 따르면 ASML은 “네덜란드 정부가 최근 일부 반도체 제조 장비의 중국 수출을 위한 면허를 부분적으로 취소했다”며 “중국에 있는 소수 고객에게 영향을 미친다”고 밝혔다. 취소된 규모는 알려지지 않았다.
미국은 지난해 중국 판매가 가능했던 심자외선(DUV) 장비를 수출 통제 대상에 추가했다. DUV는 최첨단인 극자외선(EUV) 장비보다는 성능이 떨어지지만 중국 화웨이의 최신 스마트폰에 탑재된 반도체 생산에 DUV 장비가 핵심적 역할을 한 것으로 알려졌다. 네덜란드 정부도 미국의 제재에 동참하면서 중국 기업들은 규제가 본격 시행되기 전까지 반도체 장비를 비축하기 위해 애써 왔다.
ASML은 제재가 시작되는 1월 전까지 중국 업체에 3대의 DUV 장비를 수출할 수 있는 면허가 있었지만, 미국 당국이 ASML에 사전에 계획된 일부 장비의 중국 수송을 즉각 중단할 것을 요청했다고 블룸버그는 보도했다. 제이크 설리번 백악관 국가안보보좌관이 지난해 말 이 문제에 대해 네덜란드 정부에 전화했으며, 네덜란드 관리들은 미국에 ASML에 직접 접촉해볼 것을 요청했다고 한다. 다만 ASML은 “이번 취소나 최근 미국 수출 통제가 회사 재무에 중대한 영향을 미치지 않을 것”이라고 했다.
